關于勻膠旋涂儀你了解這些么?
更新時間:2021-03-12 點擊次數:1187
勻膠旋涂儀在勻膠過程中基片的加速度也會對膠膜的性能產生影響。因為在基片旋轉的階段,光刻膠就開始干燥(溶劑揮發)了,所以控制加速度很重要。在一些勻膠過程中,光刻膠中50%的溶劑就在勻膠過程開始的幾秒鐘內揮發掉了。在已經光刻有圖形的基片上勻膠,加速度對膠膜質量同樣起重要作用。
在許多情況下,勻膠旋涂儀基片上已經由前面工序留下來的精細圖形。因此,在這樣的基片上穿越這些圖形均勻涂膠是重要的。勻膠過程總是對光刻膠產生離心力,而恰恰是加速度對光刻膠產生扭力(twisting force),這個扭力使光刻膠在已有圖形的周圍散開,這樣就可能以另一種方式用光刻膠覆蓋基片上有圖形的部分。
勻膠旋涂儀的控制和顯示:
1.非常方便設定處理速度和加速度程序段;可設置順序循環控制;
2.顯示精度控制在設定值的0.006%以內;
3.操作者可隨時隨地自由實現人機交互;
設備運轉進程中,可隨意向前,向后或者往返跳躍操作步驟;循環指令,并可以重復操作;在運轉模式下也可以實時改變速度和加速度;包含PC程序端接口;可視化操作模型(化學試劑,傳感器所見即所得的操作界面);故障報警裝置(可形象顯明故障發生位置);加速度的小分辨率為1RPM/S;寬廣的速度設定范圍(1~12000RPM)。
勻膠旋涂儀設備,包括弧形板,儲膠區,導流板,支撐柱和固定板,弧形板的弧度與使用的上膠輥外壁相同,弧形板的一側設置有儲膠區,與其對應的另一側設置有導流區,弧形板頂部中心設置有兩個相同的支撐柱,任意支撐柱頂部設置有螺母,任意支撐柱和螺母之間設置有固定板。任意支撐柱外壁有螺旋紋路,任意支撐柱和螺母螺旋連接。勻膠旋涂儀設備有益之處在于:能夠將膠液部勻,防止多余的膠液溢出,方便清潔,延長使用壽命,提高涂膠機工作效率。